SK머티리얼즈, 초고순도 불화수소 양산 가동…日 수출규제 1년만
SK머티리얼즈, 초고순도 불화수소 양산 가동…日 수출규제 1년만
  • 최창민 기자
  • 승인 2020.06.17 11:44
  • 댓글 0
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SK머티리얼즈가 초고순도 불화수소 양산에 돌입한다. (사진=SK머티리얼즈)

[화이트페이퍼=최창민 기자] SK머티리얼즈가 지난해 반도체 핵심소재 개발에 성공한데 이어 양산에 나선다. 일본이 수출규제를 가한지 1년 만이다. 양산이 시작되면 반도체 제조사들에 안정적인 소재 공급이 가능해질 전망이다.

SK머티리얼즈가 반도체 생산 핵심소재인 초고순도(순도 99.999%) 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다고 17일 밝혔다.

SK머티리얼즈는 지난해 말 초고순도 불화수소 가스 시제품 개발에 성공했다. 이후 경북 영주 공장 내 15t 규모의 생산시설을 건설하는 등 국산화 작업을 진행해 왔다. SK머티리얼즈는 이번 양산을 통해 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올린다는 계획이다.

SK머티리얼즈는 불화수소와 함께 고부가 포토레지스트 영역에서도 국산화 작업을 본격화했다. 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에도 나선다. 반도체 웨이퍼 위에 포토레지스트(감광액)를 바르고 빛을 쏘면 회로 패턴이 새겨지는 형태다. ArF PR는 포토레지스트의 일종으로, 초미세 패턴 형성에 쓰이는 고부가 제품이다. 특히 ArF PR는 해외의존도가 90%에 달해 양산이 시작될 경우 안정적인 소재 공급이 가능해질 전망이다.

SK그룹은 소재 국산화 과정에서 확보한 역량을 중소기업 상생 협력으로 연결해 국내 반도체 생태계 강화에 나선다. SK하이닉스는 이미 4000억원 규모 상생 펀드를 조성해 협력사들에 저금리 융자를 제공하고 있다. SK머티리얼즈는 지난해 11월 경북 영주 본사에 연구개발(R&D) 시설인 통합분석센터를 세우고 한국표준과학원 등과 함께 중기 분석 서비스 준비작업 중이다.

SK그룹 관계자는 “투자비나 전문 인력 확보 측면에서 어려움을 겪는 중소기업들에 SK가 보유한 노하우를 공유해 업계 전체가 진화·발전하도록 도울 것”이라며 “중소기업 상생 협력을 강화해 국내 반도체 산업 경쟁력을 높이고 고용 창출 효과에도 기여하겠다”고 밝혔다.

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