[화이트페이퍼=박세리 기자] 이재용 삼성전자 회장이 윤석열 대통령의 네덜란드 국빈 방문일정 동행을 마치고 15일 오전 귀국했다. 이 회장은 출장 성과와 관련해 “이번 순방은 반도체가 거의 90%였다”며 만족감을 나타냈다.
이 회장은 이날 오전 7시 서울 김포 비즈니스 항공센터(SGBAC)를 통해 귀국하면서 이번 순방 성과를 묻는 취재진의 질문에 이같이 답했다.
삼성전자는 이번 순방에서 '슈퍼을(乙)'로 불리는 네덜란드 반도체 장비 업체 ASML과 업무협약(MOU)을 맺었다. 약 7억 유로(한화 약1조원)를 투자해 차세대 반도체 제조 기술 연구개발 (R&D) 센터를 국내에 설립을 추진하기로 했다.
ASML은 극자외선(EUV) 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산하는 기업이다. 1대당 약 2000억원에 달하는 EUV의 연간 생산량은 약 50만대로 공급이 수요를 따라가지 못해 품귀 현상을 빚기도 한다. 7나노미터(㎚·1㎚=10억분의 1m) 이하의 초미세 공정 구현에 있어 EUV가 필수 장비인 만큼, 삼성전자는 ASML과 협력 관계가 중요하다.
이 회장과 동행한 경계현 디바이스솔루션(DS) 부문장(사장)은 "삼성이 하이 뉴메리컬어퍼처(High NA) EUV에 대한 기술적인 우선권을 갖게 됐다"면서 "장기적으로 D램이나 로직에서 하이 NA EUV를 잘 쓸 수 있는 계기를 만들지 않았나 생각한다"고 밝혔다. ASML의 ‘하이 NA EUV’ 장비는 2나노미터(1나노미터=10억분의 1ｍ) 공정의 핵심 장비다.
경 사장은 이어 "이번 협약은 경기도 동탄에 공동 연구소를 짓고 거기서 하이 NA EUV를 들여와서 ASML 엔지니어와 삼성의 엔지니어들이 같이 기술 개발하는 것이 주목적"이라며 "장비를 빨리 들여온다는 관점보다는 공동 연구를 통해 삼성이 하이 NA EUV를 더 잘 쓸 수 있는 협력 관계를 맺어가는 게 더 중요하다"고 강조했다.
